全部分类
SIC切割后清洗机
1): 拥有多种规格型号,适用于不同尺寸SIC晶圆的清洗;
2): 适用于4寸丶、6寸、8寸等多规格SIC衬底片的刻蚀清洗
3): 全自动控制,机械手传递片篮,采用工控机+触摸屏控制方式,电器件均采用进口品牌
SIC全自动预清洗机
1): 适用SIC衬底片的预清洗,可兼容4寸、6寸、8寸规格
2): 全自动控制,高速机械手,保证设备运行平稳,定位可靠
3): 设备外观大气、结构紧凑
SIC全自动去蜡清洗机
1): 适用SIC衬底片的去蜡清洗,可兼容4寸、6寸、8寸规格
2): 全自动控制,高速机械手,保证设备运行平稳,定位可靠
3): 设备外观大气、结构紧凑
SIC抛光后清洗机
1): 适用SIC衬底片的抛光后清洗,可兼容4寸、6寸、8寸规格
2): 全自动控制,高速机械手,保证设备运行平稳,定位可靠
3): 设备外观大气、结构紧凑
SIC倒角后清洗机
1): 适用SIC衬底片的倒角后清洗,可兼容4寸、6寸、8寸规格
2): 全自动控制,高速机械手,保证设备运行平稳,定位可靠
3): 设备外观大气、结构紧凑、干法下料
半导体器件生产中玻璃硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质,包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态,有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。